点击图片查看大图首先用低温等离子体产生高能量电子，直接分解废气因子中的有害气体，使其降解成为二氧化碳和水等，再利用光媒触的作用，降解尚未完成的各类有害气体，从而达到治理效果。因为废气因子降解的最终产物主要为二氧化碳和水，因此没有二次污染的麻烦问题，当然废气处理过程中也会半生少量的氯化氢，固体以及油状颗粒物。这些物质经过检测也可以达到国家排放标准。所以选用此法来治理车间废气。
第二步：经前面处理较为干净的废气，接入等离子废气处理设备，通过等离子放电，打断有机废气分子键，与此同时有和高能量活性基团重新结合生成水和二氧化碳，有机废气被去除，然后导入二级喷淋净化塔，进一步吸收一些小分子碎片，便于尾气检测，最后由烟囱高空达标排放（也可低空排放）。此过程既不同于化学反应过程而生成第三种物质，也不同于掩盖作用，不会造成二次污染，可彻底去除制药厂生产车间里的臭味。
